摘要
Zur Erreichung einer hochhellen, gering divergenten Ausgabe eines 1060-nm-Halbleiterlasers wurde ein hochheller vertikal breiter Seitenemissions- (HiBBEE) Epitaxiechip verwendet. Es wurde erfolgreich ein HiBBEE-konischer Halbleiterlaser entwickelt und hergestellt. Der Laser verwendet einen 7 μm schmalen Rippenwellenleiter zur Einmodal-Ausgabe sowie einen 100 μm langen konischen Wellenleiterabschnitt an der Rückseitenfläche zur Leistungsverstärkung. Bei einem Betriebsstrom von 1,5 A erreicht die Helligkeit des Lasers 25 MW·cm-2·sr-1. Durch die HiBBEE-Struktur wird der vertikale Divergenzwinkel auf 8,0° reduziert. Der Laser findet wichtige Anwendungen in Bereichen wie augensicherem LiDAR.
关键词
Konischer Halbleiterlaser; Vertikal breiter Seitenemissionslaser mit hoher Helligkeit; Hohe Helligkeit; Strahlqualität