Lutetiumoxid (Lu₂O₃) gilt aufgrund seiner hohen Wärmeleitfähigkeit, niedrigen Phononenergie und starken Kristallfeldes als vielversprechendes Laserkristallmaterial. Sein hoher Schmelzpunkt von bis zu 2450 ℃ führt jedoch zu erheblichen Temperaturgradienten, die eine Vielzahl von Defekten induzieren. Die Erforschung der Defekte dieses Kristalls ist bisher unzureichend und behindert die Verbesserung der Kristallqualität. In dieser Studie verwendeten wir eine chemische Ätzmethode, um die Ätzwirkung unter verschiedenen Bedingungen auf Lu₂O₃-Kristalle zu untersuchen und bestimmten die optimalen Bedingungen zur Untersuchung von Versetzungsdefekten in Lu₂O₃-Kristallen (Massenanteil 70% H₃PO₄, 160 ℃, 15~18 min). Die Morphologie der Versetzungssäume auf Lu₂O₃-Wafern mit (111)- und (110)-Orientierung wurde mittels Lichtmikroskop, Rasterelektronenmikroskop und Rasterkraftmikroskop charakterisiert. Diese Studie schließt eine Wissenslücke zu Linienfehlern in Lu₂O₃ und liefert Leitlinien zur Optimierung des Kristallwachstumsprozesses und zur Verbesserung der Kristallqualität.

Lu₂O₃;Ätzgruben;Versetzungen;Kristalldefekte