Lutetiumoxid (Lu2O3) wird aufgrund seiner hohen Wärmeleitfähigkeit, niedrigen Phononenenergie und starken Kristallfeldes als potenzielles Material für Laserkristalle angesehen. Jedoch kann sein hoher Schmelzpunkt von bis zu 2450 °C leicht signifikante Temperaturgradienten erzeugen, die die Bildung vieler Defekte stimulieren. Die Erforschung von Defekten in diesem Kristall ist unzureichend, was die Verbesserung der Kristallqualität behindert. In dieser Studie haben wir eine chemische Ätzmethode verwendet, um den Effekt der Ätzung auf den Lu2O3-Kristall unter verschiedenen Bedingungen zu untersuchen und die besten Bedingungen zur Untersuchung der Lu2O3-Kristalldefekte zu identifizieren (70 Gew.-% H3PO4, 160 °C, 15-18 min). Die Form der geätzten Defekte auf Lu₂O₃ (111) und (110) Kristallscheiben wurde mit Hilfe eines optischen Mikroskops, Rasterelektronenmikroskops und Rasterkraftmikroskops charakterisiert. Diese Studie schließt die Lücke im Verständnis der Linienfehler von Lu2O3 und leitet die Optimierung des Kristallwachstumsprozesses und die Verbesserung seiner Qualität an.

Lu2O3; Korrosionsgruben; Fehler; Kristallfehler