Lutetiumoxid (Lu₂O₃) wird aufgrund seiner hohen Wärmeleitfähigkeit, niedrigen Phononenenergie und starken kristallinen Feld als potenzielles Material für Laserkristalle betrachtet. Allerdings kann sein hoher Schmelzpunkt von bis zu 2450 °C zu einer beträchtlichen Menge von Defekten führen. Die Untersuchung der Defekte dieses Kristalls ist noch unzureichend, was die Verbesserung seiner Qualität behindert. In dieser Studie haben wir die chemische Ätzmethode verwendet, um den Effekt des Ätzens auf Lu₂O₃-Kristalle unter verschiedenen Bedingungen zu untersuchen und die optimalen Bedingungen für die Untersuchung von Lu₂O₃-Kristalldefekten (70 wt% H₃PO₄, 160 °C, 15-18 Minuten) zu bestimmen. Die Morphologie der Defektpits auf Lu₂O₃-Kristallen mit den Orientierungen (111) und (110) wurde mit einem optischen Mikroskop, einem Rasterelektronenmikroskop und einem Atomkraftmikroskop charakterisiert. Diese Studie schließt die Lücke im Verständnis von linearen Defekten in Lu₂O₃ und bietet eine Anleitung zur Optimierung des Kristallwachstumsprozesses und zur Verbesserung seiner Qualität.

Lu₂O₃; Korrosionsstellen; Defekt; Kristalldefekte