Die Lithographie ist eine zuverlässige Methode zur Herstellung von mikro-LED (Micro-LED) pixelierten Farbkonvertierungsfilmen, steht jedoch vor Kompatibilitätsproblemen zwischen Quantenpunkten und Fotolacken. In dieser Arbeit wurde ein Acrylharz mit N-Phenylmaleimid (NPMI) als Seitenkette modifiziertes Harz entwickelt, das mit Quantenpunkten kompatibel ist. Die C–O-Bindungen in den Seitenketten bilden Koordinationsbindungen mit den Quantenpunkten, wodurch Oberflächendefekte passiviert und die Dispersion der Quantenpunkte verbessert werden. Die photolumineszente Quantenausbeute (PLQY) der Fotolacklösung erreichte 76,1 % (Rot) und 43,4 % (Grün). Die Passivierung bleibt im finalen Farbkonvertierungsfilm erhalten, wobei die PLQYs für Grün und Rot 66,4 % bzw. 36,4 % betragen und die minimale pixelierte Mustergröße ein rechteckiges Raster von 10 μm × 10 μm erreicht. Die hier vorgestellte Methode der Seitenkettenmodifikation des Harzes bietet eine Anleitung zur Entwicklung von mit Quantenpunkten kompatiblen Fotolacken und stellt eine einfache und praktikable Lösung für die kommerzielle Anwendung von vollfarbigen Micro-LEDs dar.

Quantenpunkt-Fotolack; Farbkonvertierung; Harzmodifikation; Pixelierung