Die Lithographie ist eine zuverlässige Methode zur Herstellung von pixelisierten Farbkonversionsfilmen für Micro-LEDs auf Basis von Quantenpunkten, jedoch gibt es ein Kompatibilitätsproblem zwischen Quantenpunkten und Fotolack. In dieser Arbeit wurde ein Acrylharz mit N-Phenylmaleimid (NPMI) Seitenkette entwickelt, um einen mit Quantenpunkten kompatiblen Fotolack herzustellen. Die C̿O Bindung an der Seitenkette bildet Koordinationsbindungen mit den Quantenpunkten, wodurch Oberflächendefekte passiviert und die Quantenpunktdispersion verbessert wird. Die photolumineszente Quantenausbeute (PLQY) der Fotolacklösung erreicht 76,1 % (Rot) und 43,4 % (Grün). Beim endgültigen Herstellungsprozess des Farbkonversionsfilms bleibt die Passivierung erhalten, und die PLQY für Grün und Rot beträgt jeweils 66,4 % und 36,4 %. Die minimale Pixelgrafikgröße kann ein rechteckiges Array von 10 μm × 10 μm erreichen. Die in dieser Studie vorgeschlagene Seitenkettenmodifikation des Harzes bietet eine Anleitung zur Entwicklung mit Quantenpunkten kompatibler Fotolacke und stellt eine einfache und praktikable Lösung für die kommerzielle Anwendung von vollfarbigen Micro-LEDs dar.

Quantenpunkt-Fotolack; Farbkonversion; Harzmodifikation; Pixellierung