Die Lithographie ist eine zuverlässige Methode zur Herstellung eines pixellierten Farbumwandlungsfilm für Mikro-LEDs (Micro-LEDs), aber es gibt eine Herausforderung bei der Kompatibilität von Quantenpunkten mit dem lithographischen Fotolack. In dieser Arbeit wurde ein mit Quantenpunkten kompatibler Fotolack entwickelt, indem die Seitenketten der Acrylharze mit N-Phenylmaleimid (NPMI) modifiziert wurden, und die seitliche C-O-Gruppe in der Lage ist, eine Koordinationsbindung mit den Quantenpunkten zu bilden, wodurch Oberflächenfehler unterdrückt und die Dispersion der Quantenpunkte verbessert wird, was zu einer Quantenausbeute von 76,1 % (rot) und 43,4 % (grün) führt. Der Blockierungseffekt besteht weiterhin bei der Herstellung des Farbumwandlungfilms, wobei die Quantenausbeute für Grün und Rot jeweils 66,4 % und 36,4 % beträgt, und die minimale Größe des pixelierten Musters in einem Rechteck von 10 µm × 10 µm erreicht werden kann. Die Methode zur Modifikation der Seitenketten von Harzen in dieser Studie bietet Anleitung zur Entwicklung eines mit Quantenpunkten kompatiblen Fotolacks für Lithografie und bietet eine einfache und praktikable Lösung für die kommerzielle Anwendung von farbigen Micro-LEDs.

Fotolack für Quantenpunkte; Farbumwandlung; Harzmodifikation; Pixelisierung