Photolithographie ist eine zuverlässige Methode zur Herstellung von mikropixeligen Farbkonversionsfolien für Micro-LEDs, allerdings besteht ein Kompatibilitätsproblem zwischen Quantenpunkten und Fotolack. In dieser Arbeit wurde ein Acrylharz mit N-Phenylmaleimid (NPMI)-Seitenkettenmodifikation entwickelt, das mit Quantenpunkten kompatibel ist. Die C-O-Bindungsenergie in der Seitenkette bildet Koordinationsbindungen mit den Quantenpunkten, wodurch Oberflächenfehler passiviert und die Dispersion der Quantenpunkte verbessert werden. Die Quantenausbeute (PLQY) der Fotolacklösung erreicht 76,1 % (rot) und 43,4 % (grün). Beim endgültigen Herstellungsprozess der Farbkonversionsfolie bleibt der Passivierungseffekt erhalten, wobei die PLQY für Grün und Rot jeweils 66,4 % und 36,4 % beträgt. Die minimale Pixelgröße kann ein rechteckiges Array von 10 μm × 10 μm erreichen. Die Seitenkettenmodifikationsmethode des Harzes in dieser Studie bietet eine Anleitung zur Entwicklung von mit Quantenpunkten kompatiblen Fotolacken und stellt eine einfache und umsetzbare Lösung für die kommerzielle Vollfarb-Anwendung von Micro-LEDs dar.

Quantenpunkt-Fotolack; Farbkonversion; Harzmodifikation; Pixelierung