Die neuesten Fortschritte in der Technologie für integrierte photonische Bauelemente erfüllen vollständig den Bedarf des Marktes an kompakten und effizienten optoelektronischen Systemen und fördern nachdrücklich die Entwicklung der Technologie für optische Superflächen. Zum Beispiel kann die Integration eines vertikalen Resonatorlasers (VCSEL) mit einer Superfläche einen vektoriellen Lichtstrahl mit bestimmter Wellenfront erzeugen, was die Funktionalität und Flexibilität des optoelektronischen Systems erheblich verbessert. In diesem Artikel wurde ein 850-nm-VCSEL auf der Grundlage einer Nanoantennensuperfläche aus Siliciumnitrid (Si₃N₄) entworfen. Durch die Einstellung der Parameter der Nanoantennenstruktur wurde eine Phasenabdeckung von mehr als 2 π erreicht, und unter Verwendung einer Vortex-Phasenplatte 1. und 2. Ordnung wurden erfolgreich Vortex-Lichtstrahlen unterschiedlicher Ordnung erzeugt. Diese Ergebnisse bieten einen neuen Ansatz zur Regelung des Lichtfeldes des VCSEL durch optische Superflächen.

Optische Superflächen; Vortex-Lichtstrahl; Vertikaler Resonatorlaser; Integrierte photonische Bauelemente