摘要
ZnO ist ein typisches Halbleitermaterial der dritten Generation mit einer verbotenen Bandbreite von 3,37 Elektronenvolt. Das intrinsische ZnO ist ein n-Typ-Halbleiter, und die Technologie der Donator-Dotierung kann seine n-Typ-Leitungseigenschaften deutlich verbessern. Das transparent leitfähige ZnO-Aluminiumoxid (AZO) ist ein typisches transparentes leitfähiges Oxid (TCO), das viel Aufmerksamkeit erregt. Dieser Artikel konzentriert sich auf dünnfilme von AZO als Hauptvertreter und fasst die neuesten Fortschritte bei der Erforschung transparenter leitfähiger ZnO-basierter dünnschichten zusammen, einschließlich ZnO-basierter Mehrschichtfilme, flexiblen ZnO-basierten Filmen usw.
关键词
zinc oxide;transparent conductive film;Donor doping;AZO;Optoelectronic properties