Um die Wirksamkeit von LED-Geräten auf Basis von AlGaN mit unterschiedlicher Emissionswellenlänge, die auf hochtemperaturbehandelten AlN-Vorlagen hergestellt wurden, bei der Virusbekämpfung von Coxsackie zu untersuchen, wurden in dieser Arbeit 7 Gruppen von tiefem ultraviolettem AlGaN-basierten LED-Geräten mit unterschiedlicher Emissionswellenlänge im Bereich von 257~294 nm hergestellt und ihre Wirksamkeit untersucht. Die Ergebnisse der Experimente zeigten, dass die Hochtemperaturbehandlung der AlN-Vorlage die Defektdichte in der AlN-Vorlage auf 1.33×10⁷ cm^-2 reduzieren kann, was eine gute Grundlage für die Herstellung effizienter LED-Geräte auf Basis von AlGaN schafft; auf der Basis von hochtemperaturbehandelten AlN-Vorlagen wurde gezeigt, dass LED-Geräte auf Basis von AlGaN mit einer zentralen Emissionswellenlänge im Bereich von 257~278 nm bei der Virusbekämpfung von Coxsackie unter Experimenten, die eine Bekämpfungsentfernung von 2 cm und eine UV-Bestrahlungszeit von 30 s beinhalten, eine Bekämpfungseffizienz von ≥99.90% aufweisen, während die Bekämpfungseffizienz der LED-Geräte mit einer zentralen Emissionswellenlänge von 288 nm und 294 nm für die Bekämpfung von Coxsackie-Viren nur 99.47% bzw. 96.15% beträgt. Auf der Basis der oben genannten Forschungsergebnisse eignen sich LED-Geräte auf Basis von AlGaN mit einer Emissionswellenlänge im Bereich von 257~278 nm für den Einsatz im medizinischen Bereich zur Bekämpfung von Viren; unter den Bedingungen dieser Studie haben tiefultraviolette LED-Geräte auf Basis von AlGaN mit einer Emissionswellenlänge von mehr als 288 nm eine geringe Wirksamkeit bei der Bekämpfung von Viren.

Hochtemperaturbehandlung; AlN-Vorlage; AlGaN; LED; Vireninaktivierung