Zur Untersuchung der Wirksamkeit der Virusinaktivierung durch AlGaN-basierte LED-Geräte mit unterschiedlichen Emissionswellenlängen, die auf einem hochtemperaturbehandelten AlN-Substrat hergestellt wurden, wurden 7 Gruppen von AlGaN-basierten Tiefultraviolett-LEDs mit Emissionswellenlängen im Bereich von 257 bis 294 nm hergestellt und deren Wirksamkeit gegen das Coxsackie-Virus untersucht. Die experimentellen Ergebnisse zeigen, dass die Hochtemperaturbehandlung des AlN-Substrats die Versetzungsdichte des AlN-Substrats auf 1,33×10⁷ cm^-2 reduzieren kann, was eine gute Grundlage für die Herstellung hoch effizienter AlGaN-basierter LED-Geräte schafft; unter den Versuchsbedingungen mit einem Inaktivierungsabstand von 2 cm und einer UV-Bestrahlungszeit von 30 s weisen AlGaN-LEDs mit einer Emissionsmittenwellenlänge zwischen 257 und 278 nm eine Inaktivierungsrate des Coxsackie-Virus von ≥99,90 % auf, während LEDs mit einer Emissionsmittenwellenlänge von 288 nm und 294 nm eine Inaktivierungsrate von 99,47 % bzw. 96,15 % aufweisen. Basierend auf den obigen Forschungsergebnissen sind AlGaN-LED-Geräte mit Wellenlängen zwischen 257 und 278 nm für Anwendungen im Bereich der Virusbeseitigung geeignet; unter den experimentellen Bedingungen dieser Arbeit weisen AlGaN-basierte Tiefultraviolett-LEDs mit Wellenlängen größer als 288 nm eine geringere Wirksamkeit bei der Virusinaktivierung auf.

Hochtemperaturbehandlung;AlN-Substrat;AlGaN;LED;Virusinaktivierung