Die hervorragenden Materialeigenschaften von Diamant verleihen ihm großes Anwendungspotenzial im Bereich der solarblinden Ultraviolettdetektion. In diesem Artikel wird eine Mikrowellen-Plasma-Chemische Gasphasenabscheidungs-Anlage verwendet, um eine Diamantschicht auf einem (111)-orientierten monokristallinen Siliziumsubstrat abzuscheiden. Auf Basis dieser Schicht wird durch thermische Zersetzung von Fotolack eine grafitbasierte planare Interdigitalelektrodenstruktur MSM für einen diamantenen solarblinden UV-Detektor hergestellt, was eine neue Methode zur Realisierung eines vollkarbonbasierten Diamantdetektors bietet. Die Ergebnisse zeigen, dass die Diamantschicht auf dem Siliziumsubstrat eine stark orientierte polykristalline Schicht ist. Die Halbwellenbreite des XRD-Scans der (111)-Ebene beträgt 0,093°, die diamanttypische Peak-Position im Raman-Spektrum liegt bei 1332 cm-1 mit einer Halbwertsbreite von 4 cm-1, was auf eine hohe Kristallqualität der Schicht hinweist; der Dunkelstrom des UV-Detektors mit Graphitelektrode bei einer Vorspannung von 5 V beträgt 2,07×10-8 A, das Licht-Dunkel-Verhältnis liegt bei 77, die Schaltcharakteristika sind gut, und der Detektor mit Graphitelektroden besitzt eine hervorragende zeitliche Reaktion mit einer Anstiegszeit von 30 ms und einer Abfallzeit von 430 ms.

Diamantschicht;Graphitelektrode;solarblinder UV-Detektor