Es wurden vertikale Hohlraumlaser (VCSEL) mit 940 nm Wellenlänge und unterschiedlichen Oxidationsdurchmessern hergestellt, und VCSEL mit Oxidationsdurchmessern von 3, 6 und 9 μm wurden getestet und charakterisiert. Die maximale Ausgangsleistung der VCSEL mit Oxidationsdurchmessern von 3, 6 und 9 μm betrug jeweils 2,92, 6,79 und 10,49 mW, die Modulationsbandbreite betrug jeweils 27,65, 23,34 und 20,56 GHz. Darüber hinaus kann der VCSEL mit 3 μm Oxidationsdurchmesser im gesamten Betriebsstrombereich im Einmodenbetrieb arbeiten, während die VCSEL mit 6 und 9 μm Oxidationsdurchmesser bei höheren Strömen wenige- und mehrmodige Eigenschaften zeigen. Schließlich wurde der VCSEL mit 3 μm Oxidationsdurchmesser für die Datenübertragungstests ausgewählt und eine Übertragungsrate von 53 Gbit/s unter NRZ-Codierung erreicht.

Vertikaler Hohlraumlaser; Hochgeschwindigkeit; Einmoden