摘要
تعكس Helين عالية الانعكاسية من AlGaN القائمة على الموزعة براغ عاكسة (Distributed Bragg reflector، DBR) هي المرشح المثالي لبناء غرفة رنين عالية الجودة لأجهزة الباعثة للضوء في نطاق الأشعة فوق البنفسجية (RCLED) وأجهزة الليزر الباعثة للضوء الرأسية (VCSEL). في هذه الدراسة، تم تحضير هيكل مكدس من 20.5 دورة من طبقات n/n⁺-Al₀.₆Ga₀.₄N على ركيزة الياقوت من النوع c باستخدام طريقة الترسيب الكيميائي بالبخار العضوي المعدني. تمت مناقشة نظاميًا تأثير استراتيجية التطعيم بالسيليكون للطبقة n⁺-Al₀.₆Ga₀.₄N وتأثير التعري الكهربائي الكيميائي على شكل وطيف الانعكاس لطبقة DBR النانوية المسامية. مقارنةً بالطرق التقليدية للتطعيم الثابت، فإن تأثير التطعيم بتدرج تركيز السيليكون يساعد في تخفيف اختلاف معدلات التعري الكهربائي الكيميائي لكل طبقة n⁺-Al₀.₆Ga₀.₄N، ويحسن بشكل كبير تناسق قطر ومسامية القنوات النانوية، مما يزيد من عامل الانعكاس لطبقة DBR النانوية المسامية. مع تحسين جهد التعري إلى 33 فولت، وصلت نسبة الانعكاس عند الطول الموجي المستهدف 310 نانومتر إلى 93.7% مع عرض نطاق ترددي 36 نانومتر؛ كما تحسن شدة الانبعاث الضوئي لأكثر من كمية معينة بنسبة 110%. توفر هذه النتائج مرجعًا مهمًا لتحقيق أجهزة RCLED وVCSEL التي تعمل بحقن كهربائي في نطاق الأشعة فوق البنفسجية.
关键词
DBR القائم على AlGaN; التعري الكهربائي الكيميائي; التطعيم التدرجي; المسامية; طيف الانعكاس; عرض نطاق الحجب
以上内容由讯飞翻译自动生成，翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果，本网站不承担任何商业和法律责任。
The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website