البنية والأداء الكهرضوئي للمسام النانوية لـ β-Ga2O3 النامية بالترسيب بالليزر النبضي على قالب AAO

GE Xuehao ,  

JIANG Kai ,  

WANG Xianghu ,  

摘要

تجعل خصائص أكسيد الجاليوم ذات الحزمة العريضة منه مناسبًا جدًا لتحضير كاشفات الأشعة فوق البنفسجية غير الحساسة للضوء المرئي. عادة ما يكون استجابة كواشف الأشعة فوق البنفسجية القائمة على الأغشية الرقيقة منخفضة. ومع ذلك، بسبب السطح النوعي العالي وجودة البلورة العالية التي توفر استقرارًا عاليًا، تتمتع المواد النانوية بأداء كهرضوئي ممتاز في تطبيقات الأجهزة. في هذه الورقة، تم بنجاح ترسيب مسام نانوية من β-Ga2O3 على قالب AAO متعدد المسام ذو الترتيب الثنائي من خلال الترسيب بالليزر النبضي (PLD). باستخدام قالب AAO المسامي كمكان لنمو المواد النانوية، تم ملء مواد أكسيد الجاليوم في قنوات القالب لتشكيل هياكل أنابيب نانوية. ومن خلال تحسين عملية التحضير، تم دراسة العلاقة بين أداء أنابيب أكسيد الجاليوم النانوية ووقت النمو بعمق، مما أدى إلى تحسين استجابة الكاشف.

关键词

مسام β-Ga2O3; قالب AAO; الترسيب بالليزر النبضي; مواد أشباه الموصلات ذات الحزمة العريضة

阅读全文