الهيكل والكهرباء الضوئية للثقوب النانوية β-Ga₂O₃ المزروعة بالترسيب بالليزر النبضي على قالب AAO

GE Xuehao ,  

JIANG Kai ,  

WANG Xianghu ,  

摘要

تجعل الخصائص ذات الحزمة العريضة لأكسيد الغاليوم منه مادة مناسبة جدًا لإعداد كاشفات الأشعة فوق البنفسجية غير الحساسة للضوء المرئي. غالبًا ما يكون استجابة كاشفات الأشعة فوق البنفسجية القائمة على الأغشية الرقيقة منخفضة. ومع ذلك، بسبب المساحة السطحية النوعية العالية وجودة البلورة العالية التي توفر ثباتًا مرتفعًا، فإن المواد النانوية تتمتع بأداء كهروضوئي ممتاز في تطبيقات الأجهزة. هنا، نجحنا في ترسيب ثقوب نانوية من β-Ga₂O₃ على قالب AAO المسامي الثنائي الاتجاه باستخدام الترسيب بالليزر النبضي. باستخدام قالب AAO المسامي كمكان لنمو المواد النانوية، يتم ملء مادة أكسيد الغاليوم داخل قنوات القالب لتشكيل هيكل أنابيب نانوية. من خلال تحسين عملية التحضير، تم دراسة العلاقة بين خصائص أنابيب أكسيد الغاليوم النانوية ووقت النمو بعمق، مما أدى إلى تحسين استجابة الكاشف.

关键词

ثقوب نانوية β-Ga₂O₃; قالب AAO; الترسيب بالليزر النبضي; مواد أشباه الموصلات ذات الحزمة العريضة

阅读全文