摘要
كفاءة استخراج الضوء المنخفضة لمصابيح Micro-LED الحمراء على أساس AlGaInP تقيِّد كثافة الإشعاع للجهاز. في هذه الورقة، تم اقتراح تقنية تصنيعية باستخدام قناع نانوي من النيكل المنظم ذاتياً وتقنية النقر الرطب، حيث تم الحصول على نسيج سطح GaP عالي الكثافة وموحد، وعن طريق هذا النسيج السطحي تم زيادة زاوية الحد الأدنى وبالتالي تقليل تأثير الانعكاس الكلي وزيادة كفاءة استخراج الضوء للجهاز بشكل فعال. وقد تم الحصول على نسيج سطحي من مظهر مختلف باستخدام قناع النيكل بسمكات مختلفة. وأظهرت النتائج أن كثافة الإشعاع وكفاءة الكمية الخارجية لمصباح Micro-LED الذي تم نقره بالرطوبة بقناع نانوي من النيكل سمكه 1 نانومتر تحسنت بنسبة 21.04% و 23.58% على التوالي مقارنةً بمصباح Micro-LED الذي لا يحتوي على نسيج سطحي، عند كثافة تيار 20 A / cm2. تم اقتراح طريقة لإعداد نسيج سطحي اسطواني من نوع عسلي باستخدام تقنية النقر الجاف بالبلازما المتصاعدة (ICP) بالمشققات للاتحاد مع تقنية النقر الرطب. بعد النقر بالبلازما الجاف للطبقة GaP بنفس العملية، تمت تآكلها بالرطوبة لفترات زمنية مختلفة. عند كثافة تيار 20 A / cm2، تحسنت كثافة الإشعاع وكفاءة الكمية الخارجية لمصباح Micro-LED بعد النقر بالبلازما الجاف والنقر بالرطوبة 3 × 10 ثوانٍ بنسبة 81.61% و 48.40% على التوالي مقارنةً بمصباح Micro-LED الذي لا يحتوي على نسيج سطحي.
关键词
AlGaInP;العكس;فعالية استخراج الضوء;Micro-LED;نسيج سطحي