يُعتبر أكسيد اللانثانيد (Lu₂O₃) مادة بلورية ليزرية واعدة نظرًا لامتلاكه موصلية حرارية عالية، وطاقة فارون منخفضة، ومجال بلوري قوي. ومع ذلك، فإن نقطة انصهاره العالية التي تصل إلى 2450 درجة مئوية تؤدي إلى وجود تدرج حراري كبير، مما يسبب تكوين عدد كبير من العيوب. لا تزال دراسة عيوب هذه البلورة غير كافية، مما يعيق تحسين جودة البلورة. في هذه الدراسة، استخدمنا طريقة النقش الكيميائي لاستكشاف تأثير النقش على بلورات Lu₂O₃ تحت ظروف مختلفة، وتم تحديد أفضل الظروف لدراسة عيوب انزياح بلورة Lu₂O₃ (تركيز 70% H₃PO₄، 160 درجة مئوية، 15~18 دقيقة). تم استخدام المجهر الضوئي والمجهر الإلكتروني الماسح والمجهر القوى الذرية لوصف شكل حفر النقش الناتجة عن عيوب الانزياح على شرائح Lu₂O₃ ذات التوجهات (111) و(110). تملأ هذه الدراسة الفراغ في فهم عيوب الخط في Lu₂O₃، وتوفر إرشادات لتحسين عملية نمو البلورة ورفع جودتها.

Lu₂O₃;حفرة التآكل;عيوب انزياح;عيوب البلورة