يُعتبر أكسيد اللوتيتيوم (Lu2O3) مادة بلورية LASER واعدة بسبب موصليته الحرارية العالية، وانخفاض طاقة الفونونات، وقوة المجال البلوري. ومع ذلك، فإن نقطة انصهاره العالية التي تبلغ 2,450 درجة مئوية تؤدي إلى ظهور تدرجات حرارية كبيرة، مما يسبب تكوّن العديد من العيوب. لا تزال دراسات العيوب في هذه البلورة غير مكتملة، مما يحد من تحسين جودة البلورة. في هذه الدراسة، استخدمنا طريقة الحفر الكيميائي لدراسة تأثيرات الحفر على بلورات Lu2O3 تحت ظروف مختلفة، وحددنا أفضل الظروف لدراسة عيوب الانزلاق في بلورات Lu2O3 (تركيز 70% من H3PO4، درجة حرارة 160 درجة مئوية، مدة 15~18 دقيقة). قمنا بتوصيف شكل حفر الانزلاق على شرائح Lu₂O₃ ذات الاتجاه (111) و (110) باستخدام الميكروسكوب، الميكروسكوب الإلكتروني الماسح، والمجهر القوي الذري. تسد هذه الدراسة الفجوة المعرفية حول عيوب الخط في Lu2O3، وتقدم إرشادات لتحسين عملية نمو البلورات وجودتها.