摘要
حققت التطورات الأخيرة في تقنية الأجهزة الضوئية المتكاملة تلبية كاملة لمتطلبات السوق للأنظمة الكهروضوئية المدمجة وعالية الكفاءة، كما عززت بشكل قوي تطور تقنية الأسطح الفائقة البصرية. من بينها، يمكن لدمج الليزر المنبعث من التجويف العمودي (VCSEL) مع الأسطح الفائقة إنتاج حزم ضوئية متجهة ذات موجات أمامية محددة، مما يزيد بشكل كبير من وظيفة ومرونة الأنظمة الكهروضوئية. صمم هذا البحث VCSEL بطول موجي 850 نانومتر يعتمد على مصفوفة هوائيات نانوية من نيتريد السيليكون Si3N4 للأسطح الفائقة، ومن خلال التلاعب بمعلمات بنية الهوائيات النانوية، تم تحقيق تغطية طورية تزيد عن 2π، وباستخدام ألواح طور دوامة من الرتبة الأولى والثانية، تم إنتاج حزم ضوئية دوامية ذات رتب مختلفة بنجاح. تقدم هذه النتائج أفكارًا جديدة لتقنية ضبط مجال الضوء في VCSEL باستخدام الأسطح الفائقة البصرية.
关键词
سور فائق;حزمة ضوئية دوامية;ليزر منبعث من تجويف عمودي;أجهزة ضوئية متكاملة