تُعتبر ترانزستورات الأغشية الرقيقة لأكسيد المعادن (Metal oxide thin film transistors، MOTFTs) ذات قدرة عالية على حركة الناقلات واستقرار كهربائي جيد، واعدة جدًا في تطبيقات شاشات العرض ذات اللوحات الخلفية الكبيرة الحجم. بالإضافة إلى ذلك، تتوافق عملية تصنيع MOTFTs مع ترانزستورات الأغشية الرقيقة السيليكونية غير المتبلورة، مما يقلل التكلفة الإنتاجية ويوفر ميزة تنافسية كبيرة في السوق. ومع ذلك، فإن التعارض بين مؤشرين رئيسيين لأداء MOTFTs — حركة الناقلات والاستقرار — يحد من استخدامها في الشاشات المتطورة. لذلك، أصبح تطوير MOTFTs ذات حركة عالية واستقرار عالي موضوعًا رائعًا للبحث ومركزًا للمنافسة الصناعية. تشير العديد من الدراسات إلى أن أنظمة أشباه الموصلات النشطة المؤكسدة المخدومة بالمعادن الأرضية النادرة قادرة على تحقيق هذا الهدف. تركز هذه الورقة على مراجعة تصميم مواد الأكسيد المخدومة بالمعادن الأرضية النادرة التي تجمع بين حركة ناقلات عالية واستقرار عالي، والأداء الذي وصلت إليه MOTFTs، بالإضافة إلى مناقشة التحديات وإمكانات التطور لتقنية الترنزستورات الرقيقة المخدومة بالمعادن الأرضية النادرة (RE-MOTFTs).
关键词
ترانزستورات الأغشية الرقيقة لأكسيد المعادن;العناصر الأرضية النادرة;حركة الناقلات;الاستقرار