تأثير فراغات الأكسجين على أداء ثنائي شوتكي الحاجز القائم على InGaZnO غير المتبلور

JIA Bin ,  

TONG Xiaowen ,  

HAN Zikang ,  

QIN Ming ,  

WANG Lifeng ,  

HUANG Xiaodong ,  

摘要

تعمل دائرة التقويم كعنصر رئيسي في تحويل التيار المتردد إلى تيار مستمر، وتلعب دورًا حيويًا في أنظمة جمع الطاقة الصغرى. تقيد تقنيات التصنيع الخاصة بثنائيات التقويم التقليدية القائمة على السيليكون أو الجرمانيوم دمج النظام. بالمقابل، تظهر ثنائيات أكسيد المعدن مزايا في دمج النظام نظرًا لتقنية تحضيرها البسيطة. تؤثر عيوب فراغ الأكسجين في أشباه الموصلات المؤكسدة بشكل كبير على الأداء الكهربائي للجهاز، لذا يمكن ضبط أداء الثنائي بشكل فعال عن طريق تعديل تركيز فراغات الأكسجين. لتحسين أداء الثنائي، تدرس هذه الدراسة تعديل تدفق الأكسجين أثناء عملية الترسيب بالبخاخ لضبط تركيز فراغات الأكسجين في غشاء InGaZnO. أظهرت النتائج التجريبية أن الثنائي يتمتع بكثافة تيار أمامي تبلغ 43.82 أمبير/سم² عند جهد 1 فولت، ومعدل تقويم بقيمة 6.94×10⁴، ويمكنه تقويم إشارة جيبية دخل بجهد 5 فولت وتردد 1 كيلو هرتز بكفاءة، مما يبرز إمكانيته الكبيرة في تحويل وإدارة الطاقة. يوفر ضبط فراغات الأكسجين أفكارًا وطرقًا لتحسين أداء ثنائيات التقويم.

关键词

InGaZnO;ثنائي حاجز شوتكي;فراغات الأكسجين;أداء التقويم

阅读全文