تأثير شواغر الأكسجين على أداء ثنائي حاجز شوتكي القائم على InGaZnO غير المتبلور
摘要
تعمل دائرة التقويم كمكون رئيسي لتحويل التيار المتردد إلى تيار مستمر، ولها دور حيوي في أنظمة جمع الطاقة المصغرة. تعيق الثنائيات التقليدية المصنوعة من السليكون أو الجرمانيوم عملية دمج النظام بسبب تقنيات تصنيعها الخاصة. بالمقارنة، تظهر ثنائيات أكسيد المعادن مزايا في دمج النظام بفضل تقنية تحضيرها البسيطة. تؤثر عيوب شواغر الأكسجين في أشباه الموصلات الأكسيدية بشكل كبير على الأداء الكهربائي للجهاز، لذلك يمكن التحكم في أداء الثنائي بفعالية من خلال تعديل تركيز شواغر الأكسجين. لتحسين أداء الثنائي، تضبط هذه الدراسة تركيز شواغر الأكسجين في فيلم InGaZnO من خلال تعديل تدفق الأكسجين أثناء عملية الترسيب بالبخار. أظهرت النتائج التجريبية أن الثنائي عند فولطية 1 فولت يمتلك كثافة تيار أمامي مقدارها 43.82 أمبير/سم-2، ونسبة تقويم تبلغ 6.94×104، قادر على تقويم إشارة جيبية دخل بجهد 5 فولت وتردد 1 كيلوهرتز بكفاءة عالية، مما يظهر إمكاناته الكبيرة في تحويل وإدارة الطاقة. يوفر ضبط شواغر الأكسجين أفكارًا ووسائل لتحسين أداء ثنائيات التقويم.
关键词
InGaZnO;ثنائي حاجز شوتكي;شواغر الأكسجين;أداء التقويم