لدراسة كفاءة تعقيم الفيروسات لأجهزة LED على أساس AlGaN بطول موجة انبعاث مختلف تم تصنيعها على قالب AlN المعالج حراريًا بدرجة حرارة عالية، تم تصنيع 7 مجموعات من أجهزة LED عميقة فوق بنفسجية على أساس AlGaN بأطوال موجة انبعاث تتراوح بين 257~294 نانومتر، وتمت دراسة كفاءة تعقيم فيروس كوكساكي. أظهرت النتائج التجريبية أن المعالجة الحرارية العالية لقالب AlN يمكن أن تخفض كثافة الانحراف في قالب AlN إلى 1.33×10⁷ سم^-2، مما يؤسس أساسًا جيدًا لتصنيع أجهزة LED عالية الكفاءة على أساس AlGaN؛ وفي ظل شروط التجربة لمسافة تعقيم 2 سم ووقت إشعاع فوق بنفسجي 30 ثانية، أظهرت أجهزة LED على أساس AlGaN ذات طول موجة مركزية من 257 إلى 278 نانومتر معدل تعقيم ≥99.90% ضد فيروس كوكساكي، بينما أجهزة LED ذات طول موجة مركزية 288 نانومتر و294 نانومتر أظهرت معدل تعقيم 99.47% و96.15% على التوالي. بناءً على النتائج السابقة، فإن أجهزة LED على أساس AlGaN ذات الأطوال الموجية بين 257~278 نانومتر مناسبة للتطبيق في مجال تعقيم الفيروسات؛ وتحت شروط التجربة الحالية، كان أداء أجهزة LED عميقة فوق بنفسجية على أساس AlGaN بطول موجة أكبر من 288 نانومتر أقل فعالية في تعقيم الفيروسات.

المعالجة الحرارية العالية;قالب AlN;AlGaN;LED;تعقيم الفيروسات