تغليف الغلاف الجوي المحكم هو تقنية مهمة لدفع التطور عالي الموثوقية للأجهزة الإلكترونية. تواجه تقنيات التغليف التقليدية مشاكل مثل درجة حرارة اللحام العالية، الصدمة الحرارية الكبيرة، ونطاق التطبيقات الضيق، مما يجعلها غير قادرة على تلبية متطلبات تغليف الغلاف الجوي المحكم لركيزة السيراميك المطلي ثلاثي الأبعاد. تستند هذه الدراسة إلى مزايا تقنية اللحام بالليزر النبضي، وتبحث في تحقيق تغليف محكم الغلاف الجوي لركيزة السيراميك المطلي ثلاثي الأبعاد باستخدام اللحام بالليزر النبضي، مع التركيز على نمط التفاعل بين الليزر النبضي والمواد أثناء اللحام، وتحليل المورفولوجيا المجهرية لواجهة عينة اللحام، والخصائص الحصينية والميكانيكية. أظهرت الدراسة أن ظهور الشقوق في منطقة المعدن الملحوم مرتبط ارتباطًا وثيقًا بالانتشار النحاس المتجه نحو الجانب الذي يمكن إزالته من الركيزة المعدنية؛ يمكن أن تتجنب أنماط التوصيل الحراري والانتقال المستقرة ذات عمق الذوبان الضئيل ظهور تشققات اللحام. تم تحسين معلمات عملية اللحام من خلال التجارب، وحصلت هيكل تجويف ركيزة السيراميك ثلاثية الأبعاد على أفضل إغلاق جوي عالي عند القدرة الذروة لليزر 120 واط، عرض النبضة 1 مللي ثانية، ونسبة التداخل 80٪، حيث بلغ معدل التسرب 5.2×10⁻¹⁰ پاسكال·م³/ث، وقوة القص للوصلة 278.06 ميجا باسكال، وهو ما يلبي متطلبات تغليف الغلاف الجوي المحكم عالي الموثوقية لأجهزة أشباه الموصلات من الجيل الثالث.

الليزر النبضي؛ نمط اللحام؛ تغليف الغلاف الجوي المحكم؛ ركيزة سيراميك مطلي بالنحاس ثلاثي الأبعاد (3-D DPC)