تحضير أقطاب لجهاز كاشف الأشعة فوق البنفسجية غير الحساس للضوء الشمسي على أغشية الماس متعدد البلورات

CHEN Zi-yi ,  

ZHANG Wei-liang ,  

RONG Xi-ming ,  

HAN Shun ,  

ZENG Yu-xiang ,  

CAO Pei-jiang ,  

FANG Ming ,  

LIU Wen-jun ,  

ZHU De-liang ,  

LYU You-ming ,  

摘要

تم تحضير أقطاب شوكية من الذهب على أغشية الماس متعدد البلورات التي نمت باستخدام طريقة الترسيب الكيميائي بالبلازما المستمرة (DC-PJCVD) لبناء جهاز كاشف للأشعة فوق البنفسجية غير الحساسة للضوء الشمسي بهيكل معدن-موصل-معدن (MSM). تم دراسة تأثير عمليات تحديد الأنماط الضوئية المختلفة على أداء أجهزة الكشف المصنوعة من الماس. أظهرت النتائج أن الأجهزة التي أُعدت باستخدام عملية تحديد الأنماط الضوئية عن طريق الرفع (lift-off) كانت أفضل بشكل ملحوظ من تلك التي أُعدت باستخدام الطريقة الرطبة؛ حيث زادت شدة التيار الضوئي Ilight بمقدار 4.4 أضعاف، ونسبة التيار الضوئي إلى التيار المظلم تحسنت 6.8 مرات، والاستجابة عند جهد 25 فولت ارتفعت 9 مرات لتصل إلى 0.15 أمبير/واط. على هذا الأساس، تم تحضير أقطاب شوكية من أربع معادن مختلفة باستخدام تقنية الرفع: الذهب، التيتانيوم، التيتانيوم/الذهب، والفضة، وتم مقارنة أداء كواشف الأشعة فوق البنفسجية المصنوعة بهذه الأقطاب. حيث برزت مصفوفة الفضة بأفضل أداء بين الأربعة بسبب تأثير النفاذ الحاجزي (tunneling barrier) الذي يسبب تضخيمًا في الإشارة، إذ وصلت قيمة التيار الضوئي Ilight إلى 0.21 ميكروأمبير عند 25 فولت، وارتفعت الاستجابة إلى 0.78 أمبير/واط، وهو أداء مساوٍ للأجهزة المبلغ عنها سابقًا. مقارنة بالأجهزة المصنوعة بأقطاب الذهب العادية، زادت شدة التيار الضوئي 5.2 أضعاف، ونسبة التيار الضوئي إلى التيار المظلم تحسنت 7 مرات، والاستجابة تحسنت 5.2 مرات.

关键词

أغشية الماس;تحديد أنماط ضوئية بالطريقة الرفعية (lift-off);أقطاب الفضة;كاشف الأشعة فوق البنفسجية غير الحساس للضوء الشمسي

阅读全文

以上内容由讯飞翻译自动生成,翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果,本网站不承担任何商业和法律责任。

The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website