摘要
تم تحضير غشاء كتلي β⁃Ga2O3 بواسطة طريقة الأكسدة الحرارية عالية الحرارة لركيزة أحادية البلورة من GaAs من النوع p. تم دراسة تأثير تدفق O2 خلال عملية الأكسدة عالية الحرارة على شكل غشاء β⁃Ga2O3 الكتلي. من خلال اختبار جودة البلورة، والخصائص الهيكلية، وخصائص التحليل الفلوري الضوئي للغشاء الكتلي، يمكن ملاحظة أن تحول GaAs إلى غشاء كتلي β⁃Ga2O3 في ظروف الأكسدة العالية الحرارة والأكسجين العالي مرتبط بالتبخر بطريقة لانجمير. عندما يكون تدفق O2 منخفضًا (0.2 لتر/دقيقة)، تكون الركيزة GaAs ناقصة الأكسجين، والعينة المحضرة تظهر بشكل أسلاك نانوية؛ أما عند تدفق O2 يزيد عن 0.4 لتر/دقيقة، فإن الركيزة GaAs تُؤكسد بالكامل إلى غشاء كتلي β⁃Ga2O3 بهيكل جزر نانوية، مع تحسن ملحوظ في جودة البلورة. عملية الأكسدة الحرارية لبلورة GaAs المفردة المقترحة هنا يمكنها الحصول بكفاءة وبتكلفة منخفضة على أغشية كتلية ذات جودة بلورية عالية من هياكل نانوية β⁃Ga2O3، مما يثري بشكل كبير تطبيقات مادة β⁃Ga2O3.
关键词
الأكسدة الحرارية; غشاء كتلي بجزر نانوية; β-Ga2O3; تدفق الأكسجين
以上内容由讯飞翻译自动生成，翻译内容仅供参考。对于因使用本网站翻译内容产生的相关后果，本网站不承担任何商业和法律责任。
The above content is generated by Large Model Translation. The translated content is for reference only. We do not assume any commercial or legal responsibilty for any consequences arising from the use of our website