Ga掺入对立方相MgZnO薄膜晶体结构的影响

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Ga掺入对立方相MgZnO薄膜晶体结构的影响

材料合成及性能 | 更新时间：2020-08-12

- Ga掺入对立方相MgZnO薄膜晶体结构的影响
- Study of Ga-doping Effect on The Structure of Cubic MgZnO
- 发光学报 2014年35卷第8期页码：922-925
- 作者机构：
  
  1. 发光学及应用国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春,130033
  2. 中国科学院大学北京,100049
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金（21100146，61376054）();国家();973计划&rdquo();（2011CB302006）资助项目()
- DOI：10.3788/fgxb20143508.0922
  中图分类号： O484.4
- 收稿日期：2014-04-08，
  
  修回日期：2014-05-09，
  
  网络出版日期：2014-04-30，
  
  纸质出版日期：2014-08-03
- 稿件说明：
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李超群, 张振中, 陈洪宇等. Ga掺入对立方相MgZnO薄膜晶体结构的影响[J]. 发光学报, 2014,35(8): 922-925

LI Chao-qun, ZHANG Zhen-zhong, CHEN Hong-yu etc. Study of Ga-doping Effect on The Structure of Cubic MgZnO[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2014,35(8): 922-925
李超群, 张振中, 陈洪宇等. Ga掺入对立方相MgZnO薄膜晶体结构的影响[J]. 发光学报, 2014,35(8): 922-925 DOI： 10.3788/fgxb20143508.0922.

LI Chao-qun, ZHANG Zhen-zhong, CHEN Hong-yu etc. Study of Ga-doping Effect on The Structure of Cubic MgZnO[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2014,35(8): 922-925 DOI： 10.3788/fgxb20143508.0922.

摘要

采用金属有机物化学气相沉积方法生长了立方相Mg

0.56

Zn

0.44

O：Ga薄膜，Ga在MgZnO中的摩尔分数为2.8%~4.5%。低掺杂水平的MgZnO可以保持其良好的结晶特性。随着Ga元素的摩尔分数升高至3.1%、3.3%与4.5%，立方相MgZnO中分别出现了Ga

2

O

3

、ZnO与ZnGa

2

O

4

分相。其中，Ga

2

O

3

与ZnGa

2

O

4

相的出现是由于Ga的掺杂使这两相在MgZnO基质中饱和析出，而ZnO分相被归因于Ga的引入部分破坏了立方MgZnO的亚稳态结构状态，使组分原本就处于分相区的立方MgZnO出现相分离。

Abstract

The influence of gallium (Ga) doping on the structure of cubic MgZnO was studied by changing the doping level. Cubic Mg

0.56

Zn

0.44

O films with various Ga-doping levels were grown by metal-organic chemical vapor deposition method. The mole fraction of Ga in this experiment was 0

2.8%

3.1%

3.3%

and 4.5% in MgZnO. Ga

2

O

3

ZnO and ZnGa

2

O

4

phase separations took place subsequently with Ga mole fraction increasing to 3.1%

3.3%

and 4.5%. The Ga

2

O

3

and ZnGa

2

O

4

phase separations can be attributed to their solubilities in MgZnO

and the formation of ZnO comes from the introduction of Ga which breaks the metastable structure of cubic MgZnO.

关键词

Keywords

references

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