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基于直流磁控溅射VO2薄膜的高效近红外光电探测器
器件制备及器件物理 | 更新时间：2025-11-26

    • 基于直流磁控溅射VO2薄膜的高效近红外光电探测器

      增强出版

    • DC Magnetron-sputtered VO2 Thin Films: Towards High-performance Near-infrared Photodetectors

    • “在近红外光电探测领域，采用直流磁控溅射金属钒靶材结合退火工艺成功制备单斜相VO2薄膜，构筑的MSM结构近红外光电探测器展现出优异的光电响应性能，为该领域研究提供新方向。”
    • 发光学报   2025年46卷第11期 页码：2119-2128

    • DOI：10.37188/CJL.20250148    

      中图分类号： O482.31;O472. 3
    • CSTR：32170.14.CJL.20250148    

    • 收稿：2025-05-13，

      修回：2025-05-20，

      纸质出版：2025-11-25

    移动端阅览

  • 杨琪,曾敏,周文祺等.基于直流磁控溅射VO2薄膜的高效近红外光电探测器[J].发光学报,2025,46(11):2119-2128. DOI： 10.37188/CJL.20250148. CSTR： 32170.14.CJL.20250148.

    YANG Qi,ZENG Min,ZHOU Wenqi,et al.DC Magnetron-sputtered VO2 Thin Films: Towards High-performance Near-infrared Photodetectors[J].Chinese Journal of Luminescence,2025,46(11):2119-2128. DOI： 10.37188/CJL.20250148. CSTR： 32170.14.CJL.20250148.

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杨琪
曾敏
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太原理工大学　物理与光电工程学院
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