多种含硫溶液钝化(100)GaAs表面的实验研究

刘春玲; 张晶; 么艳平; 王玉霞; 王春武; 王丽娟; 薄报学

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多种含硫溶液钝化(100)GaAs表面的实验研究

半导体发光、激光和光电性质 | 更新时间：2020-08-11

- 多种含硫溶液钝化(100)GaAs表面的实验研究
- Research on (100) GaAs Surface Passivation with Sulf-solutions
- 发光学报 2007年28卷第6期页码：904-906
- 作者机构：
  
  1. 长春理工大学, 高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林, 长春, 130022
  2. 吉林师范大学, 吉林, 四平, 136000
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(60477010,60476026)();武器装备预研基金(9140c3103020604)资助项目()
- DOI：
  中图分类号： O472.1;O482.31
- 收稿：2007-04-16，
  
  修回：2007-6-10，
  
  纸质出版：2007-11-20
- 稿件说明：
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刘春玲, 张晶, 么艳平, 王玉霞, 王春武, 王丽娟, 薄报学. 多种含硫溶液钝化(100)GaAs表面的实验研究[J]. 发光学报, 2007,28(6): 904-906

LIU Chun-ling, ZHANG Jing, YAO Yan-ping, WANG Yu-xia, WANG Chun-wu, WANG Li-juan, BO Bao-xue. Research on (100) GaAs Surface Passivation with Sulf-solutions[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2007,28(6): 904-906
刘春玲, 张晶, 么艳平, 王玉霞, 王春武, 王丽娟, 薄报学. 多种含硫溶液钝化(100)GaAs表面的实验研究[J]. 发光学报, 2007,28(6): 904-906 DOI：

LIU Chun-ling, ZHANG Jing, YAO Yan-ping, WANG Yu-xia, WANG Chun-wu, WANG Li-juan, BO Bao-xue. Research on (100) GaAs Surface Passivation with Sulf-solutions[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2007,28(6): 904-906 DOI：

摘要

为实现GaAs表面的钝化

以Na

S、(NH

)

S、CHCSNH

为主要研究对象

通过对比实验研究得出较为理想的湿法钝化液.通过光致发光(PL)谱研究了(NH

)

S+叔丁醇、CHCSNH

+NH

OH、CHCSNH

+叔丁醇三种不同含硫溶液钝化(100)GaAs表面后的发光特性.PL谱测试发现

(NH

)

S+叔丁醇饱和溶液处理过的(100)GaAs表面光致发光强度最强

PL谱的相对发光强度是未做钝化处理的10倍左右.因此得出(NH

)

S+叔丁醇饱和溶液是较为理想的(100)GaAs表面钝化液.

Abstract

The passivation of (100)GaAs surface was investigated by Na

(NH

)

S and CH

CSNH

solution to find optimal passivation methods.(NH

)

S+ t-C

CSNH

OH and CH

CSNH

t-C

OH sulf-solutions have been used for passivation comparation of(100) GaAs surface by means of Ar

laser excitated photoluminescence(PL).The relative PLspectrum intensity of sample treated by (NH

)

S+ t-C

OH passivation is 10 times stronger than that of unpassivated samples.The results indicate that(NH

)

S+ t-C

OH solution has the better passivation effect on(100) GaAs surface.

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