MOCVD方法生长ZnO微米柱的结构与光学性质

魏志鹏; 吕有明; 申德振; 刘益春; 赵东旭; 李炳辉; 张吉英; 范希武

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MOCVD方法生长ZnO微米柱的结构与光学性质

论文 | 更新时间：2020-08-11

- MOCVD方法生长ZnO微米柱的结构与光学性质
- Structure and Optical Characteristics of ZnO Micro-rods Grown by MOCVD
- 发光学报 2004年25卷第2期页码：139-142
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 激发态物理重点实验室,吉林长春,130033
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家“863”高技术项目,新材料领域(2001AA31112)();中国科学院二期创新基金();中国科学院BR计划基金();国家自然科学基金(60176003,6027
- DOI：
  中图分类号： O472.3
- 收稿日期：2003-03-28，
  
  修回日期：2003-06-05，
  
  纸质出版日期：2004-03-20
- 稿件说明：
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魏志鹏, 吕有明, 申德振, 刘益春, 赵东旭, 李炳辉, 张吉英, 范希武. MOCVD方法生长ZnO微米柱的结构与光学性质[J]. 发光学报, 2004,25(2): 139-142

WEI Zhi-peng, LU You-ming, SHEN De-zhen, LIU Yi-chun, ZHAO Dong-xu, LI Bing-hui, ZHANG Ji-ying, FAN X W. Structure and Optical Characteristics of ZnO Micro-rods Grown by MOCVD[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2004,25(2): 139-142
魏志鹏, 吕有明, 申德振, 刘益春, 赵东旭, 李炳辉, 张吉英, 范希武. MOCVD方法生长ZnO微米柱的结构与光学性质[J]. 发光学报, 2004,25(2): 139-142 DOI：

WEI Zhi-peng, LU You-ming, SHEN De-zhen, LIU Yi-chun, ZHAO Dong-xu, LI Bing-hui, ZHANG Ji-ying, FAN X W. Structure and Optical Characteristics of ZnO Micro-rods Grown by MOCVD[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2004,25(2): 139-142 DOI：

摘要

通过X射线衍射、扫描电子显微镜和变温光致发光光谱对MOCVD方法生长在蓝宝石衬底上的ZnO微米柱材料的结构及发光特性进行了表征.X射线衍射结果表明

ZnO具有良好的

轴择优取向

扫描电子显微镜图中可观察出ZnO微米在呈六角结构生长

半径约为0.5～1.5μm.样品的发光光谱通过He-Cd激光器的325nm线激发

从光谱中发现低温(81K)下出现极强的与激子相关的带边发光峰

温度升高到360K时与自由激子相关的紫外发射峰仍然是清晰可见.

Abstract

Well-aligned ZnO micro-rods have been prepared on Al

(0001)substrate by metalorganic chemical vapor deposition(MOCVD)with Zn(C

)

as the reactant source.The crystal quality and optical character of the ZnO were studied.X-ray diffration spectra show that ZnO is strongly c-oriented.The morphology of the sample was obtained by SEM.The images indicated the ZnO micro-rods have hexahedral structure with radius of 0.5～1.5μm.A strong ultraviolet(UV)emission is observed at 81～360 K when sample is excited by 325 nm line of a He-Cd laser.In the photoluminescence(PL)spectra

deep level emission can't be seen

indicating that the micro-rods have higher crystalline guality.

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