GaN的声表面波特性研究

严莉; 陈晓阳; 何世堂; 李红浪; 韩培德; 陈振; 陆大成; 刘祥林; 王晓晖; 李昱峰; 袁海荣; 陆沅; 黎大兵; 朱勤生; 王占国

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GaN的声表面波特性研究

研究论文 | 更新时间：2020-08-11

- GaN的声表面波特性研究
- Study of the Surface Acoustic Wave Properties of GaN
- 发光学报 2003年24卷第2期页码：161-164
- 作者机构：
  
  1. 航天航空总公司二院23所声表面波公司, 北京, 100854
  2. 中国科学院声学研究所, 北京, 100083
  3. 中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室, 北京, 100083
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(60086001,69906002)();国家重大基础研究项目(G20000683)资助项目()
- DOI：
  中图分类号： O472.31
- 收稿日期：2002-08-11，
  
  修回日期：2002-12-30，
  
  纸质出版日期：2003-03-20
- 稿件说明：
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严莉, 陈晓阳, 何世堂, 李红浪, 韩培德, 陈振, 陆大成, 刘祥林, 王晓晖, 李昱峰, 袁海荣, 陆沅, 黎大兵, 朱勤生, 王占国. GaN的声表面波特性研究[J]. 发光学报, 2003,24(2): 161-164

YAN Li, CHEN Xiao-yang, HE Shi-tang, LI Hong-lang, HAN Pei-de, CHEN Zhen, LU Da-cheng, LIU Xiang-lin, WANG Xiao-hui, LI Yu-feng, YUAN Hai-rong, LU Yuan, LI Da-bing, ZHU Qin-sheng, WANG Zhan-guo. Study of the Surface Acoustic Wave Properties of GaN[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2003,24(2): 161-164
严莉, 陈晓阳, 何世堂, 李红浪, 韩培德, 陈振, 陆大成, 刘祥林, 王晓晖, 李昱峰, 袁海荣, 陆沅, 黎大兵, 朱勤生, 王占国. GaN的声表面波特性研究[J]. 发光学报, 2003,24(2): 161-164 DOI：

YAN Li, CHEN Xiao-yang, HE Shi-tang, LI Hong-lang, HAN Pei-de, CHEN Zhen, LU Da-cheng, LIU Xiang-lin, WANG Xiao-hui, LI Yu-feng, YUAN Hai-rong, LU Yuan, LI Da-bing, ZHU Qin-sheng, WANG Zhan-guo. Study of the Surface Acoustic Wave Properties of GaN[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2003,24(2): 161-164 DOI：

摘要

采用金属有机物化学气相外延方法在(0001)面蓝宝石上生长了高质量、高阻的未掺杂(0001)面GaN薄膜。为精确测量GaN薄膜材料的声表面波特性

在GaN薄膜表面上沉积了金属叉指换能器

叉指换能器采用等叉指结构

叉指的数目为40对

叉指间距为15μm。采用脉冲法测量了声表面波在自由表面和金属表面上的速度

并通过计算得到了机电耦合系数(κ

)。所测量的声表面波速度(

)为5667m/s

机电耦合系数(κ

)为1.9%。

Abstract

High quality and high resistivity (0001) GaN film was grown on (0001) plane sapp hire by metalorganic vapor phase epitaxy (MOVPE). To measure the surface a coustic wave (SAW) properties accurately

metallized interdigital transducers (IDT) we re deposited on the GaN surface. The pitch of the IDT was 15μm (=λ/4

λ:S AW w avelength)

and the number of IDT finger pairs was 40. The surface acoustic wave velocity on free surface and that on metal surface were measured by pulse metho d respectively

and then the electromechanical coupling coefficient was calculat ed. The surface acoustic wave velocity (

) and electromechanical coupling coefficient (κ

) were measured as 5667m/s and 1.9% respectively.

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