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FCVAD合成Ta-C(N)薄膜及其Raman和XPS分析
研究论文 | 更新时间:2020-08-11
    • FCVAD合成Ta-C(N)薄膜及其Raman和XPS分析

    • Synthesis of Ta-C(N) Films by FCVAD and Their Raman and XPS Spectra

    • 发光学报   2003年24卷第5期 页码:535-539
    • 中图分类号: O482.31
    • 收稿日期:2002-08-11

      修回日期:2003-02-16

      纸质出版日期:2003-09-20

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  • 王广甫, 张荟星. FCVAD合成Ta-C(N)薄膜及其Raman和XPS分析[J]. 发光学报, 2003,24(5): 535-539 DOI:

    WANG Guang-fu, ZHANG Hui-xing. Synthesis of Ta-C(N) Films by FCVAD and Their Raman and XPS Spectra[J]. Chinese Journal of Luminescence, 2003,24(5): 535-539 DOI:

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