集成光学亚微米光栅的原子力显微镜表征

李燕; 徐迈; 张玉书; Burger J; Parriaux O

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集成光学亚微米光栅的原子力显微镜表征

论文 | 更新时间：2020-08-11

- 集成光学亚微米光栅的原子力显微镜表征
- CHARACTERISATION OF SUBMICROMETER GRATINGS FOR INTEGRATED OPTICS BY A ATOMIC-FORCE-MICROSCOPE
- 发光学报 1998年19卷第1期页码：80-81
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院激发态物理开放研究实验室长春,130021
  2. 中国科学院长春物理研究所长春,130021
  3. 集成光电子学国家重点联合实验室长春,130023
  4. CSEM Swiss Center for Electronics and Microtechnology,Switzerland
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版日期：1998-02-28，
  
  收稿日期：1997-08-13，
- 稿件说明：
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李燕, 徐迈, 张玉书, 等. 集成光学亚微米光栅的原子力显微镜表征[J]. 发光学报, 1998,19(1):80-81.

LI YAN, XU MAI, ZHANG YUSHU, et al. CHARACTERISATION OF SUBMICROMETER GRATINGS FOR INTEGRATED OPTICS BY A ATOMIC-FORCE-MICROSCOPE. [J]. Chinese journal of luminescence, 1998, 19(1): 80-81.
李燕, 徐迈, 张玉书, 等. 集成光学亚微米光栅的原子力显微镜表征[J]. 发光学报, 1998,19(1):80-81. DOI：

LI YAN, XU MAI, ZHANG YUSHU, et al. CHARACTERISATION OF SUBMICROMETER GRATINGS FOR INTEGRATED OPTICS BY A ATOMIC-FORCE-MICROSCOPE. [J]. Chinese journal of luminescence, 1998, 19(1): 80-81. DOI：

摘要

具有亚微米空间周期的波导皱折光栅

耦合结构和制备技术与平面光回路制备工艺相兼容.作为分布反馈激光器的光栅反射镜、波导光栅耦合器、滤波器等

在集成光学研究和应用中一直有着十分重要的意义.

Abstract

We experimentally demonstrate that AFM can be used as a flexible tool for nondestructive characterisation of all steps of a fabrication sequence of submicrometer gratings for integrated optics without the necessity to specially prepare the samples under test.

关键词

集成光学光栅原子力显微镜

Keywords

integrated opticssubmicrometer gratingsatomic-force-microscope

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