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制备波导光栅的相位掩膜技术
论文 | 更新时间：2020-08-11
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    • 制备波导光栅的相位掩膜技术

    • FABRICATING OF WAVEGUIDE GRATING BY PHASE MASK TECHNIQUE

    • 发光学报   1998年19卷第1期 页码：77-79

    • 纸质出版日期：1998-02-28，

      收稿日期：1997-08-21，

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  • 马少杰, 李燕, 徐迈, 等. 制备波导光栅的相位掩膜技术[J]. 发光学报, 1998,19(1):77-79. DOI：

    MA SHAOJIE, LI YAN, XU MAI, et al. FABRICATING OF WAVEGUIDE GRATING BY PHASE MASK TECHNIQUE. [J]. Chinese journal of luminescence, 1998, 19(1): 77-79. DOI：

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相关作者

崔秋红
侯延冰
滕枫
徐迈
陆子凤
王广安
刘益春
刘春光

相关机构

北京交通大学理学院 光电子技术研究所
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林, 长春, 130033
东北师范大学理论物理研究所
中国科学院激发态物理开放研究实验室, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
东北师范大学物理系
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