含纳米硅微粒的富硅二氧化硅的蓝色薄膜交流电致发光

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论文 | 更新时间：2020-08-11

- 含纳米硅微粒的富硅二氧化硅的蓝色薄膜交流电致发光
- BLUE ACTFEL FROM Si-RICH SiO₂ CONTAINING SILICON NANOCRYSTALLITES
- 发光学报 1998年19卷第3期页码：227-229
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院长春物理研究所长春,130021
  2. 中国科学院激发态物理开放研究实验室长春,130021
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家高技术新材料委员会资助
- DOI：
  中图分类号：
- 纸质出版日期：1998-08-30
- 稿件说明：
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孙甲明, 钟国柱, 范希武, 李长华. 含纳米硅微粒的富硅二氧化硅的蓝色薄膜交流电致发光[J]. 发光学报, 1998,19(3): 227-229

Sun Jiaming, Zhong Guozhu, Fan Xiwu, Li Changhua. BLUE ACTFEL FROM Si-RICH SiO<sub>2</sub> CONTAINING SILICON NANOCRYSTALLITES[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1998,19(3): 227-229
孙甲明, 钟国柱, 范希武, 李长华. 含纳米硅微粒的富硅二氧化硅的蓝色薄膜交流电致发光[J]. 发光学报, 1998,19(3): 227-229 DOI：

Sun Jiaming, Zhong Guozhu, Fan Xiwu, Li Changhua. BLUE ACTFEL FROM Si-RICH SiO<sub>2</sub> CONTAINING SILICON NANOCRYSTALLITES[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1998,19(3): 227-229 DOI：

用磁控射频反应溅射制备了含纳米硅微粒的富硅SiO

薄膜并获得了蓝色的交流薄膜电致发光。通过热退火结合喇曼散射等手段判定蓝色发光谱带与富硅SiO

薄膜的纳米硅晶粒有关。

This paper proposed a new method to obtain EL from Si nanocrystallotes. Blue ACTFEL was observed from Si-rich SiO

films prepared by if reactive magnetron sputtering technique. The blue bands were proved to relate to the Si nanocrystalline embedded in Si-rich SiO

films by post annealing as well as Raman spectral analysis. The EL properties were consistent with the quantum size effect.

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