用化学方法制备硅场发射阵列

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用化学方法制备硅场发射阵列

电致发光 | 更新时间：2020-08-11

- 用化学方法制备硅场发射阵列
- PREPARATION OF SILICON TIPS ARRAY
- 发光学报 1996年17卷第4期页码：341-345
- 作者机构：
  
  中国科学院长春物理研究所长春,130021
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1995-11-22，
  
  纸质出版日期：1996-11-30
- 稿件说明：
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元光, 金长春, 金亿鑫, 宋航, 荆海, 朱希玲, 张宝林, 周天明, 宁永强, 蒋红, 王惟彪. 用化学方法制备硅场发射阵列[J]. 发光学报, 1996,17(4): 341-345

Yuan Guang, Jin Changchun, Jin Yixin, Song Hang, Jing Hai, Zhu Xiling, Zhang Baolin, Zhou Tianming, Ning Yongqiang, Jiang Hong, Wang Weibiao. PREPARATION OF SILICON TIPS ARRAY[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1996,17(4): 341-345
元光, 金长春, 金亿鑫, 宋航, 荆海, 朱希玲, 张宝林, 周天明, 宁永强, 蒋红, 王惟彪. 用化学方法制备硅场发射阵列[J]. 发光学报, 1996,17(4): 341-345 DOI：

Yuan Guang, Jin Changchun, Jin Yixin, Song Hang, Jing Hai, Zhu Xiling, Zhang Baolin, Zhou Tianming, Ning Yongqiang, Jiang Hong, Wang Weibiao. PREPARATION OF SILICON TIPS ARRAY[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1996,17(4): 341-345 DOI：

利用各向同性腐蚀液制备了硅微尖阵列

并考察了各主要工艺参数对微尖形貌的影响.

The silicon tips array was fabricated using isotropic etching. The fabricated condition affecting the shape of tips were researched.

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