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PECVD介质膜性能研究
论文 | 更新时间：2020-08-11

    • PECVD介质膜性能研究

    • STUDY ON PROPERTIES OF DIELECTRIC FILM GROWN BY PECVD

    • 发光学报   1996年17卷第3期 页码：230-234

    • 收稿日期：1995-12-05，

      纸质出版日期：1996-08-30

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  • 崔翔天, 楚振生, 高鹏涛, 王志军, 常威, 郑喜凤, 孟宪信. PECVD介质膜性能研究[J]. 发光学报, 1996,17(3): 230-234 DOI：

    Cui Xiangtian, Chu Zhensheng, Gao Pengtao, Wang Zhijun, Chang Wei, Zheng Xifeng, Meng Xianxin. STUDY ON PROPERTIES OF DIELECTRIC FILM GROWN BY PECVD[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1996,17(3): 230-234 DOI：

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相关作者

李星
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相关机构

宁波大学 材料科学与化学工程学院
宁波大学 理学院
湘潭大学 化学学院
南京大学光伏工程中心, 南京大学物理学院
南昌大学 教育部发光材料与器件工程研究中心
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