直流溅射法制备电致变色WO3膜

丘思畴; 黄汉尧; 舒兴胜; 徐彦忠

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直流溅射法制备电致变色WO₃膜

论文 | 更新时间：2020-08-11

- 直流溅射法制备电致变色WO₃膜
- DC SPUTTERED-DEPOSITED ELECTROCHROMIC WO₃ THIN FILM
- 发光学报 1994年15卷第2期页码：127-135
- 作者机构：
  
  华中理工大学固体电子学系武汉,430074
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金
- DOI：
  中图分类号： O484
- 收稿日期：1993-08-02，
  
  纸质出版日期：1994-05-30
- 稿件说明：
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丘思畴, 黄汉尧, 舒兴胜, 徐彦忠. 直流溅射法制备电致变色WO3膜[J]. 发光学报, 1994,15(2): 127-135

Qiu Sichou, Huang Hanyao, Shu Xingsheng, Xu Yanzhong. DC SPUTTERED-DEPOSITED ELECTROCHROMIC WO3 THIN FILM[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1994,15(2): 127-135
丘思畴, 黄汉尧, 舒兴胜, 徐彦忠. 直流溅射法制备电致变色WO3膜[J]. 发光学报, 1994,15(2): 127-135 DOI：

Qiu Sichou, Huang Hanyao, Shu Xingsheng, Xu Yanzhong. DC SPUTTERED-DEPOSITED ELECTROCHROMIC WO3 THIN FILM[J]. Chinese Journal of Luminescence, 1994,15(2): 127-135 DOI：

摘要

采用WO

陶瓷靶直流溅射制作了电致变色膜.介绍了制膜工艺.分析测试表明

膜有无定形结构;除有正常成分WO

外

还含有来自衬底及反应室内的微量杂质.电致变色谱响应特性和电化学特性的测量证明

膜的电色活性良好.还对实验结果作了理论分析.

Abstract

Thin films of tungsten oxide were prepared by D. C. sputtering of WO

ceramic target in Ar gas

the process is presented. SCE and XPS were employed to inverstigate the microstructure of the films and identify its chemical composition. The electrical and optical properties of the films were determined by cyclic voltammetry

spectral transmittance

current-time relationship and response time measurements. Our results indicate that the a-WO

thin films have good electrochromic characteristics.

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