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美国斯坦福电子实验室
纸质出版:1980-03-30
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吉本斯. 连续激光束与电子束扫描应用于半导体加工[J]. 发光学报, 1980,1(2): 64-64
. [J]. Chinese Journal of Luminescence, 1980,1(2): 64-64
吉本斯. 连续激光束与电子束扫描应用于半导体加工[J]. 发光学报, 1980,1(2): 64-64 DOI:
. [J]. Chinese Journal of Luminescence, 1980,1(2): 64-64 DOI:
从简单的理论说来
半导体表面可用连续激光束或电子束辐照
以加热至所期温度。用激光束扫描过一个表面
就可以得到一个移动的温度分布
对由于注入离子而受损的半导体不经熔融而进行退火处理。这种做法可得到固相外延重长。其效果和用炉子加热到相同温度所得的重长相仿。
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