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长春物理所
纸质出版:1980-01-30
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叶如华. 国外薄膜晶体管研究工作进展[J]. 发光学报, 1980,1(1): 63-74
. [J]. Chinese Journal of Luminescence, 1980,1(1): 63-74
叶如华. 国外薄膜晶体管研究工作进展[J]. 发光学报, 1980,1(1): 63-74 DOI:
. [J]. Chinese Journal of Luminescence, 1980,1(1): 63-74 DOI:
1962年
Weimer对薄膜晶体管的研究工作取得了显著的进展。薄膜晶体管(以下简称为TFT)技术一时引起了很多半导体器件研究者的注意。然而
由于在稳定性、重复性方面尚存在问题
应用范围也不十分明确
TFT有没有发展前途呢? 对这个问题争论甚多。整个六十年代
恰恰是硅大规模集成技术飞速发展趋于成熟的阶段。薄膜有源器件刚刚出现
很难与之竞争。其结果是对TFT的兴趣逐渐衰落
为深入了解TFT以及解决存在的问题所必须的系统研究
仅有少数几个研究小组在继续进行。
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CSCD
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